| 发明名称 |
FILM DEPOSITION METHOD BY MICROWAVE PLASMA CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0714786(A) |
申请公布日期 |
1995.01.17 |
| 申请号 |
JP19930157585 |
申请日期 |
1993.06.28 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAGI SATOSHI;YAMAGAMI ATSUSHI;OKAMURA NOBUYUKI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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