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发明名称 PLASMA GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0714533(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930150490 申请日期 1993.06.22
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 NAKAMOTO ICHIRO;NAKAYAMA TAKAYUKI;KUWABARA HAJIME;KAWASAKI YOSHINORI;SHIRAKAWA TADAHIDE;KAWARATANI TATSUMI
分类号 H01J27/08;H01J1/15;H01J1/30;H01J37/08;H05H1/48;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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