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发明名称
LAYOUT INSPECTING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH0713975(A)
申请公布日期
1995.01.17
申请号
JP19930143081
申请日期
1993.06.15
申请人
NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD
发明人
TSUNODA HIROMITSU
分类号
H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G06F17/50
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
地址
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