发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CLAMPING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0161623(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19950032525 申请日期 1995.09.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 OH, JAE-YONG;RYU, SE-HYUNG
分类号 B23Q3/06;B28D7/04;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q3/06
代理机构 代理人
主权项
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