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经营范围
发明名称
METHOD AND EQUIPMENT FOR INSPECTING IC
摘要
申请公布号
JPH0712895(A)
申请公布日期
1995.01.17
申请号
JP19930156841
申请日期
1993.06.28
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KOGA YASUTAKA
分类号
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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