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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0714827(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930148755 申请日期 1993.06.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 TATEFURU NOBORU
分类号 H01L21/22;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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