发明名称 IC BREAKING SEAL MACHINE
摘要
申请公布号 JPH0714869(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930174857 申请日期 1993.06.21
申请人 SONY CORP 发明人 SENDA KAZUNARI
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址