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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0714840(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930147860 申请日期 1993.06.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO HITOSHI
分类号 H01L23/522;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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