发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM AND THIN FILM FORMING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0714830(A) |
申请公布日期 |
1995.01.17 |
申请号 |
JP19930150728 |
申请日期 |
1993.06.22 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
KOGA KAZUHIRO;SASABE SHUNJI |
分类号 |
H01L21/205;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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