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发明名称 PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH0714824(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930147292 申请日期 1993.06.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 FUKUYAMA RYOJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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