发明名称 METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC ARRANGEMENT DESIGN
摘要
申请公布号 JPH0714927(A) 申请公布日期 1995.01.17
申请号 JP19930148974 申请日期 1993.06.21
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK 发明人 TSUKIBOSHI YOSHINORI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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