发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATIC ARRANGEMENT DESIGN |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0714927(A) |
申请公布日期 |
1995.01.17 |
申请号 |
JP19930148974 |
申请日期 |
1993.06.21 |
申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK |
发明人 |
TSUKIBOSHI YOSHINORI |
分类号 |
H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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