| 发明名称 |
ELECTRON SHOWER FOR ION IMPLANTATION DEVICE AND REGENERATION METHOD FOR ITS TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11154484(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19980253677 |
申请日期 |
1998.09.08 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
BERNSTEIN JAMES DAVID;FREER BRIAN SCOTT;KELLERMAN PETER L |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/02;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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