| 发明名称 |
PROBE CARD FOR WAFER BATCH TYPE MEASUREMENT INSPECTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11153620(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19970320741 |
申请日期 |
1997.11.21 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKAYAMA TOMOYUKI;NAKADA YOSHIRO |
| 分类号 |
G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
