发明名称 POSITIONING DEVICE FOR IC
摘要
申请公布号 JPH11153645(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 JP19970319985 申请日期 1997.11.20
申请人 SONY CORP 发明人 FUJITA HIROYUKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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