| 发明名称 |
PLASMA TREATING DEVICE AND METHOD OF DRIVING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0711447(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
| 申请号 |
JP19940094470 |
申请日期 |
1994.05.06 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
EMANIYUERU TOURUROTSUTO;TEIERII EMEROODO;JIYATSUKU SHIYUMITSUTO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/50;C23C16/503;C23C16/509;C23C16/54;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;(IPC1-7):C23C16/50;H01L21/306 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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