| 发明名称 |
STAINLESS STEEL MEMBER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0711421(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
| 申请号 |
JP19930158674 |
申请日期 |
1993.06.29 |
| 申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
KAWADA TSUNEHIRO;KOJO KATSUHIKO;KAZAMA YOICHIRO;FUKAYA TAKEMOTO;TSUJIMURA TOSHIHIKO |
| 分类号 |
C23C8/14;C23C22/00;C23C26/00;(IPC1-7):C23C8/14 |
主分类号 |
C23C8/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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