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发明名称 WAFER CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11204480(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980008229 申请日期 1998.01.20
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 MORITA AKIHIKO;OTANI MASAMI
分类号 B08B3/02;B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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