| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING AND CONTROLLING VAPOR-DEPOSITED FILM AND PRODUCTION OF THE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0711441(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
| 申请号 |
JP19930158582 |
申请日期 |
1993.06.29 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
YASHIRO TSUGIO;TORIKAI JUN |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56;G01B11/02;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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