| 发明名称 |
DEVICE FOR GROWTH OF SEMICONDUCTOR IN GASEOUS PHASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0710689(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
| 申请号 |
JP19930171151 |
申请日期 |
1993.06.17 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
MATSUO NOZOMI |
| 分类号 |
C30B25/12;C30B25/16;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/12 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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