发明名称 CARBON FILM-COATED MEMBER, ITS PRODUCTION AND TOOL USING THE MEMBER
摘要
申请公布号 JPH0711444(A) 申请公布日期 1995.01.13
申请号 JP19930157422 申请日期 1993.06.28
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 KAMEOKA SEIJI;IKEDA TSUTOMU
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C28/04;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
地址