| 发明名称 |
MANUFACTURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0710210(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
| 申请号 |
JP19930159368 |
申请日期 |
1993.06.29 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HOSAKA EIJI;YOSHIDA HISASHI;KAIHATSU HIDEKI;IKEDA KAZUTO |
| 分类号 |
B65G1/00;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G1/00 |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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