| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DECREASING MIXING OF OXYGEN IN SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0710692(A) |
申请公布日期 |
1995.01.13 |
| 申请号 |
JP19940073775 |
申请日期 |
1994.03.22 |
| 申请人 |
WACKER CHEMITRONIC GES ELEKTON GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
HANSU EERUKURUGU;FURANTSU ZEGAITO |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
