发明名称 Fabricating a semiconductor device with buried oxide
摘要
申请公布号 SG139694(G) 申请公布日期 1995.01.13
申请号 SG19940001396 申请日期 1994.09.30
申请人 MOTOROLA INC 发明人 MCLAUGHLIN KEVIN L;BIRRITTELLA MARK S
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/36;H01L21/385;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/72;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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