发明名称 ANORDNUNG ZUM LAGERN, TRANSPORTIEREN UND EINSCHLEUSEN VON SUBSTRATEN.
摘要
申请公布号 DE59103720(D1) 申请公布日期 1995.01.12
申请号 DE19915003720 申请日期 1991.07.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BOEHMER, GUDRUN, D-7000 STUTTGART 80, DE;GENTISCHER, JOSEF, D-7064 REMSHALDEN, DE;LEHNER, ROLF, D-7300 ESSLINGEN 1, DE;MODJESCH, DIETER, D-7045 NUFRINGEN, DE;SCHMUTZ, WOLFGANG, D-7214 ZIMMERN 1, DE
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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