发明名称 Halbleitervorrichtung mit einem relativ zu einem vergrabenen Subkollektor selbstausgerichteten Kontakt.
摘要
申请公布号 DE69014359(D1) 申请公布日期 1995.01.12
申请号 DE1990614359 申请日期 1990.02.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 HARAME, DAVID L., MOHEGAN LAKE, N.Y. 10547, US;MEYERSON, BERNHARD S., YORKTOWN HEIGHTS, N.Y. 10598, US;STORK, JOHANNES M.C., YORKTOWN HEIGHTS, N.Y. 10598, US
分类号 H01L29/73;H01L21/20;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8222;H01L21/8228;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/08;(IPC1-7):H01L21/314;H01L21/265;H01L29/70 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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