主权项 |
合物为主成份之感湿体者。4.如申请专利范围第1, 2或3项所述之湿度察觉器,其 中,在基板上,将感湿体形成皮膜状者。5.如申请专 利范围第1,2或3项所述之湿度察觉器,其 中,如覆盖感湿体部份地,被形成有含氟高分子膜 者。6.如申请专利范围第1,2或3项所述之湿度察觉 器,其 中,使用圆形之梳形电极者。7.如申请专利范围第1 ,2或3项所述之湿度察觉器,其 中,端子部,对感湿膜在基板之相反面者。8.如申请 专利范围第1,2或3项所述之湿度察觉器,其 中,在感湿膜边之面的电极,和在和感湿膜相反边 之面的 端子部,系透过在基板设之通孔或基板之侧面电性 地连接 者。9.如申请专利范围第1,2或3项所述之湿度察觉 器,其 中,做为基板,使用氧化铝基板或玻璃基板或矽基 板者。10.如申请专利范围第1,2或3项所述之湿度察 觉器, 其中,做为基板,使用形成绝缘膜之矽基板者。11. 如申请专利范围第1,2或3项所述之湿度察觉器, 其中,做为电极,使用从Au,Ag,Pt,Pd之中被选的金属 或至少含有此等元素之一的合金所形成之梳形电 极者。12.一种湿度察觉器之制造方法,其特征为, 在基板上, 涂敷包含锰离子和铅离子和 金属离子之溶液后, 由热处 理形成感湿膜者。13.一种湿度察觉器之制造方法, 其特征为,在基板上, 涂敷包含锰离和 金属离子之溶液后,由热处理形 成感湿 膜者。14.一种湿度察觉器之制造方法,其特征为, 在基板上, 涂敷包含铅离子和 金属离子之溶液后,由热处理 形成感 湿膜者。图1,为本发明的湿度察觉器之斜视图。 图2, 为本发明的湿度察觉器之感湿特性图。图3,为本 发明的 湿度察觉器之斜视图。图4,为本发明的湿度察觉 器之感 湿特性图。图5-图14,皆为本发明的湿度察觉器之 感湿 特性图。图15,为本发明的湿度察觉器之斜视图。 图16, 为本发明的湿度察觉器之感湿特性图。图17,为本 发明的 湿度察觉器之电极图型图。图18,为将本发明的湿 度察觉 器实装之例的剖面图。图19,为本发明的湿度察觉 器之剖 面图。图20,为本发明的湿度察觉器之剖面图。图 21,为 本发明的湿度察觉器之剖面图。图22,为本发明的 湿度察 觉器之感湿特性图。图23,为本发明的湿度察觉器 之应答 |