| 发明名称 |
Method and apparatus for predicting crystal quality of single-crystal semiconductor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2279586(A) |
申请公布日期 |
1995.01.11 |
| 申请号 |
GB19940017279 |
申请日期 |
1994.08.26 |
| 申请人 |
* NIPPON STEEL CORPORATION |
发明人 |
RYUICHI * HABU |
| 分类号 |
C30B33/00;(IPC1-7):C30B15/00;C30B13/00;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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