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发明名称 MICROMECHANICAL SENSOR.
摘要
申请公布号 EP0632880(A1) 申请公布日期 1995.01.11
申请号 EP19930906671 申请日期 1993.03.15
申请人 BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD 发明人 MOORE, DAVID, FRANK;HOOLE, ANDREW, CHARLES,FREDERICK;HEAVER,ALAN
分类号 G01N27/12;B81B3/00;G01B7/00;G01B7/14;G01N13/12;G01N19/00;G01N27/22;G01N37/00;G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01B7/14 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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