| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR MEASUREMENT OF FILM THICKNESS OF SEMICONDUCTOR MULTILAYER THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH074922(A) |
申请公布日期 |
1995.01.10 |
| 申请号 |
JP19930148839 |
申请日期 |
1993.06.21 |
| 申请人 |
JASCO CORP;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NISHIZAWA SEIJI;TAKAHASHI TOKUJI;HATTORI AKIRA |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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