发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH076722(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930172255 申请日期 1993.06.17
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAWARA HIDEAKI;MIKAMI TAKASHI;MIYAKE KOJI;MATSUBARA KATSUO
分类号 H01J27/16;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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