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发明名称
OPTICAL DISPLACEMENT MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH074913(A)
申请公布日期
1995.01.10
申请号
JP19930144506
申请日期
1993.06.16
申请人
FANUC LTD
发明人
HIRAIZUMI MITSUO
分类号
G01B11/00;G01C3/06;(IPC1-7):G01B11/00
主分类号
G01B11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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