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发明名称
DEVICE FOR STABILIZING FLOW OF AIR IN CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
JPH074709(A)
申请公布日期
1995.01.10
申请号
JP19930172741
申请日期
1993.06.18
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
OKAWA YOSHINORI
分类号
F24F7/06;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):F24F7/06
主分类号
F24F7/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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