发明名称 PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH075366(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930143939 申请日期 1993.06.15
申请人 HITACHI CONSTR MACH CO LTD 发明人 IGARASHI TERUO;MURAYAMA TAKESHI;MORIMOTO TAKASHI;NAGASAWA KIYOSHI
分类号 G02B21/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q30/02;G01Q60/10;G01Q60/24;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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