| 发明名称 |
BEAM-POSITION DETECTION DEVICE AND SYSTEM USING THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH074940(A) |
申请公布日期 |
1995.01.10 |
| 申请号 |
JP19930142017 |
申请日期 |
1993.06.14 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MIYAKE AKIRA;AMAMIYA MITSUAKI |
| 分类号 |
G01B15/00;G01B11/00;G01T1/29;H05H13/04;(IPC1-7):G01B15/00 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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