发明名称 ALIGNMENT METHOD IN PROBING TEST
摘要
申请公布号 JPH075062(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930143875 申请日期 1993.06.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOKOO SATOSHI
分类号 G01M1/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01M1/06 主分类号 G01M1/06
代理机构 代理人
主权项
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