| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING ELECTRIC CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR STORAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH076600(A) |
申请公布日期 |
1995.01.10 |
| 申请号 |
JP19930173734 |
申请日期 |
1993.06.21 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
TAKAGI SUSUMU;NAKANO YASUSHI;TOMITA KEIJI;MAYUZUMI HIDEAKI |
| 分类号 |
G11C29/00;G11C29/06;H01L21/66;(IPC1-7):G11C29/00 |
主分类号 |
G11C29/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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