发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH076995(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930132937 申请日期 1993.05.11
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SAKUMA KAZUTO;AOYAMA SHINJI;MACHIDA KATSUYUKI;TANABE YASUYUKI;IMAI KAZUO
分类号 H01L21/027;H01L21/306;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址