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发明名称 VERTICAL DIFFUSION CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH076966(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930172220 申请日期 1993.06.18
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 ENDO YOSHIHIDE;MAEDA KIYOHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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