| 发明名称 |
SELF-LEVELING THIN FILM TEST PROBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH077056(A) |
申请公布日期 |
1995.01.10 |
| 申请号 |
JP19940028200 |
申请日期 |
1994.02.25 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
BUREIKU EFU UOISU;JIYON ESU SUZAREI |
| 分类号 |
G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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