发明名称 MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL WAFER
摘要
申请公布号 JPH076984(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930147385 申请日期 1993.06.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKADO SHIGEO
分类号 B24B9/00;C30B33/00;H01L21/304;H03H3/08;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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