| 发明名称 |
FIXATION OF SEMICONDUCTOR WAFER AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH077073(A) |
申请公布日期 |
1995.01.10 |
| 申请号 |
JP19940016998 |
申请日期 |
1994.01.17 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
JIYURIAN GASUKIRU BUREIKU;BUEIRIN TOUU;DEIRU KIISU SUTOON;SUKOTSUTO KAARETON HOORUDEN |
| 分类号 |
B23Q3/15;G01R27/26;H01L21/265;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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