| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING INTERNAL STRESS OF SILICON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH073456(A) |
申请公布日期 |
1995.01.06 |
| 申请号 |
JP19930147161 |
申请日期 |
1993.06.18 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KURATANI NAOTO;OGATA KIYOSHI;IMAI OSAMU;NISHIYAMA SATORU;EBE AKINORI |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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