发明名称 CONVEYING MECHANISM FOR VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH071375(A) 申请公布日期 1995.01.06
申请号 JP19930230971 申请日期 1993.08.24
申请人 SONY CORP 发明人 KIKUCHI KAZUO
分类号 B25J17/00;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J17/00 主分类号 B25J17/00
代理机构 代理人
主权项
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