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经营范围
发明名称
CONVEYING MECHANISM FOR VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH071375(A)
申请公布日期
1995.01.06
申请号
JP19930230971
申请日期
1993.08.24
申请人
SONY CORP
发明人
KIKUCHI KAZUO
分类号
B25J17/00;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J17/00
主分类号
B25J17/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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