| 发明名称 |
PLASMA TREATMENT OF ARTICLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH073453(A) |
申请公布日期 |
1995.01.06 |
| 申请号 |
JP19930328444 |
申请日期 |
1993.12.24 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
JIETSUSE ENU MATOTSUSHIAN;ROBAATO DABURIYU SHIYUMATSUHAA;DEIBITSUDO EMU PETSUPAA |
| 分类号 |
B29C35/08;B29C59/14;C23C8/36;C23C14/32;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):C23C14/48 |
主分类号 |
B29C35/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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