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发明名称 SUBSTRATE HEATER
摘要
申请公布号 JPH073454(A) 申请公布日期 1995.01.06
申请号 JP19930145998 申请日期 1993.06.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KARASAWA TAKESHI;MITSUYU TSUNEO
分类号 C23C14/50;C30B25/10;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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