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发明名称 SPUTTERING TARGET AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH073443(A) 申请公布日期 1995.01.06
申请号 JP19930169527 申请日期 1993.06.16
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 MITSUI AKIRA
分类号 C22C1/05;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22C1/05
代理机构 代理人
主权项
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