发明名称 Matrice de microcapteurs à base de matériau ferroélectrique et procédé de réalisation.
摘要
申请公布号 FR2698487(B1) 申请公布日期 1995.01.06
申请号 FR19920013967 申请日期 1992.11.20
申请人 THOMSON CSF 发明人 SYLVAIN FAURE;PHILIPPE GAUCHER;JEAN-CLAUDE KURFISS
分类号 G01H11/08;G01K7/00;H01L27/20;(IPC1-7):H01L27/20;G01L7/08;G01N29/24 主分类号 G01H11/08
代理机构 代理人
主权项
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