发明名称 |
Matrice de microcapteurs à base de matériau ferroélectrique et procédé de réalisation. |
摘要 |
|
申请公布号 |
FR2698487(B1) |
申请公布日期 |
1995.01.06 |
申请号 |
FR19920013967 |
申请日期 |
1992.11.20 |
申请人 |
THOMSON CSF |
发明人 |
SYLVAIN FAURE;PHILIPPE GAUCHER;JEAN-CLAUDE KURFISS |
分类号 |
G01H11/08;G01K7/00;H01L27/20;(IPC1-7):H01L27/20;G01L7/08;G01N29/24 |
主分类号 |
G01H11/08 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|