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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur chemischen Gasphasenabscheidung.
摘要
申请公布号 DE68917870(T2) 申请公布日期 1995.01.05
申请号 DE19896017870T 申请日期 1989.11.30
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KIMURA, TAKAFUMI, HIRATSUKA-SHI KANAGAWA 254, JP
分类号 H01L21/365;C23C16/40;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44;H01L39/24 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
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