| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE;MICROTECH GMBH ELECTRONIC, 14513 TELTOW, DE |
发明人 |
GOEDICKE, KLAUS, 01307 DRESDEN, DE;PANZER, SIEGFRIED, DR., 01279 DRESDEN, DE;HEISIG, ULLRICH, DR., 01324 DRESDEN, DE;SCHMIDT, HORST, 01139 DRESDEN, DE;SCHMIDT, HORST, DR., 14532 KLEINMACHNOW, DE;JARZAK, WOLFGANG, DR., 14482 POTSDAM, DE |
