Lösliche Zusätze für Oxid-Ätzlösungen aus NH4F/HF mit oberflächenaktivem fluoriertem Cykloalkansulfonat.,申请号DE19863689962T-传众专利搜索

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发明名称	Lösliche Zusätze für Oxid-Ätzlösungen aus NH4F/HF mit oberflächenaktivem fluoriertem Cykloalkansulfonat.
摘要
申请公布号	DE3689962(T2)	申请公布日期	1995.01.05
申请号	DE19863689962T	申请日期	1986.04.30
申请人	HMC PATENTS HOLDING CO. INC., HAMPTON, N.H., US	发明人	HOPKINS, RONALD JAMES, MORRISTOWN, NJ 07960, US;THOMAS, EVAN GOWER, MORRISTOWN, NJ 07960, US;KIETA, HAROLD JOHN, MORRISTOWN, NJ 07960, US
分类号	C23F1/16;C04B41/53;C09K13/08;C23F1/24;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	C23F1/16
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